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一种晶片研磨设备 

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申请/专利权人:唐山万士和电子有限公司

摘要:本发明涉及晶片研磨技术领域,提出了一种晶片研磨设备,包括下台座、伺服电机、研磨台和上台座;所述上台座上安装晶片研磨机本体,所述下台座的表面固定安装有支撑台,所述支撑台的内部设置有安装槽;所述伺服电机固定安装在安装槽的内部,所述伺服电机的输出端固定连接有连接支杆;所述研磨台固定安装于支撑台的顶部,所述研磨台的内部转动安装有转动台,所述转动台上滑动设置有若干定位块。本发明中使用者可以通过控制伺服电机调整转动台的转动程度,来调节定位块的收紧程度,从而使得装置可以适用于多种尺寸的晶片夹持,并且升降柱可以在固定过程中承载晶片进行上下位移,使得本装置对晶片固定过程更为快速便捷。

主权项:1.一种晶片研磨设备,其特征在于,包括下台座(1)和上台座(12),所述下台座(1)与上台座(12)之间固定连接有一组支撑柱(11),所述上台座(12)上安装晶片研磨机本体(4),所述下台座(1)的表面固定安装有支撑台(14),所述支撑台(14)的内部设置有安装槽(13);伺服电机(2),所述伺服电机(2)固定安装在安装槽(13)的内部,所述伺服电机(2)的输出端固定连接有连接支杆(21);研磨台(6),所述研磨台(6)固定安装于支撑台(14)的顶部,所述研磨台(6)的内部转动安装有转动台(7),所述研磨台(6)的侧壁开设有第一槽口(62),所述转动台(7)的侧壁固定安装有第一横杆(72),所述第一横杆(72)与第一槽口(62)滑动连接,所述连接支杆(21)的顶端与第一横杆(72)固定连接,所述转动台(7)上滑动设置有若干定位块(8),若干所述定位块(8)的表面均固定安装有限位栓(82),所述研磨台(6)的表面开设有与限位栓(82)相对应的第二槽口(64),所述限位栓(82)与第二槽口(64)之间滑动设置;所述研磨台(6)的底部开设有限位槽(63),所述限位槽(63)内滑动连接有升降柱(5),所述升降柱(5)贯穿转动台(7)并延伸至研磨台(6)的表面,所述升降柱(5)的表面设置有限位条(52),所述升降柱(5)的表面开设有弧形槽(51),所述连接支杆(21)固定安装有第二横杆(22),所述第二横杆(22)与弧形槽(51)之间滑动设置;所述转动台(7)上开设有轨道槽(71),所述定位块(8)的底部固定安装有滑块(81),所述滑块(81)与轨道槽(71)之间滑动设置,所述滑块(81)与轨道槽(71)的内壁之间相接触部分均光滑设置;所述升降柱(5)的上部的圆周直径由下至上逐渐缩小,所述升降柱(5)的顶部表面设置有防滑层,所述研磨台(6)的表面安装有密封壳(61)。

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权利要求:

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