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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种处理晶片状物件的装置，装置包含：旋转卡盘，其被配置为接收晶片状物件，其中旋转卡盘包含多个接触元件，每一接触元件可在抓取位置和非抓取位置之间移动，其中接触元件在抓取位置被配置为接触晶片状物件的径向外缘；以及非旋转板，当晶片状物件被旋转卡盘接收时，非旋转板被配置为位于晶片状物件的与旋转卡盘相对的一侧，其中非旋转板包含气体供应机构，其被配置为供应气体以根据伯努利原理支撑晶片状物件。
主权项：1.一种用于处理晶片状物件的装置，所述装置包含：旋转卡盘，其被配置为接收晶片状物件，其中所述旋转卡盘包含多个接触元件，每一接触元件能在抓取位置和非抓取位置之间移动，其中所述接触元件在所述抓取位置被配置为接触所述晶片状物件的径向外缘；以及非旋转板，当所述晶片状物件被所述旋转卡盘接收时，所述非旋转板被配置为位于所述晶片状物件的与所述旋转卡盘相对的一侧，其中所述非旋转板包含气体供应机构，其被配置为供应气体以根据伯努利原理支撑所述晶片状物件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 处理晶片状物件的装置
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