买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：东南大学

摘要：本发明公开了一种基于分簇的三重图案光刻版图分解方法，包括：多边形分割为矩形存储，根据多边形之间的距离构建冲突图；通过候选缝合边位置计算、挑选合适的缝合边以在冲突图中添加缝合边；通过独立组建计算，隐藏顶点度数小于3的顶点，桥边拆解，分簇等多种冲突图化简算法，减小版图分解问题的规模；用整数线性规划松弛而来的半定规划算法对各个子冲突图求解；对簇与簇之间的顶点进行配色调整减少缝合边的使用以及最后将所有子冲突图合并得到最终的版图分解结果。本发明通过分簇使得子冲突图的规模变得更小，从而加快算法求解速度。与此同时，本发明还通过新的适用于三重图案光刻的簇间配色调整算法实现了更高的算法求解质量。

主权项：1.一种基于分簇的三重图案光刻版图分解方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1、针对一版图执行图案的分割，将版图中的多边形分割成多个矩形，再根据该矩形，得到多边形之间的距离，再根据该距离与三重图案光刻最小规则间距值构建出该版图的冲突图；步骤S2、针对步骤S1中得到的冲突图，执行缝合边的插入，其包括：先通过投影计算出候选缝合边插入位置，再根据该候选缝合边插入位置选择出冲突图中的缝合边；步骤S3、针对步骤S2中插入了缝合边的冲突图执行版图分解的操作，其包括：通过冲突图化简算法对冲突图进行化简，将其化简为多个分簇，用以减小问题规模，其中，该冲突图化简算法包括：独立组件计算的算法、隐藏顶点度数小于3的顶点的算法、桥边拆解的算法以及分簇的算法；步骤S4、针对步骤S3中经过化简之后的冲突图，执行SDP算法，用以进行配色，并且，在配色时，通过调整簇间两个有缝合边关系的顶点的配色，用以提升分解质量；其中，在进行配色时，首先针对第一个分簇执行SDP算法进行求解，获取对应的结果，在对第二个簇以及后续其他簇以进行配色时，进行簇间配色调整，该簇间配色调整包括：针对该第二个分簇，判断该分簇的各个顶点与第一个分簇的顶点之间是否有缝合边关系，若有，则对该分簇中顶点给予一个初始建议配色，该初始建议配色与第一个分簇中顶点配色相同，若无，则针对该二个分簇执行SDP算法进行求解，获取对应的结果，针对第三个分簇以及第i个分簇均采用同样的方法执行；步骤S5、针对经过步骤S4配色操作后的子簇，得到了除分簇外的三种冲突图化简算法化简后的每个子冲突图的内部最优解；将这些子冲突图进行最优解的合并操作，获得完整的版图分解结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东南大学 一种基于分簇的三重图案光刻版图分解方法