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申请/专利权人：伊利诺斯工具制品有限公司
摘要：一种用于校准质量流量控制器的诊断系统，该诊断系统包括控制器，该控制器可通信地耦接到阀和多个传感器。该控制器基于预定的设定点值和来自该至少一个传感器的通信来控制该阀。该控制器确定设定点值调整次数，并且将校准操作的结果与设定点值加上容差值进行比较。该控制器生成通知消息，该通知消息指示该预定的设定点值调整次数和该比较的结果中的至少一者。该控制器至少部分地基于该预定的设定点值调整次数、该比较的结果、以及用户输入之一来校准该质量流量控制器。该通知消息可以包括温度值、阀驱动值、传感器流速值、气体流小时数、以及基于总流体小时数的剩余设定点调整次数。
主权项：1.一种质量流量控制器，包括：入口，所述入口被配置为接收流体；流动路径，所述流体在所述流动路径中流过所述质量流量控制器；阀，所述阀被配置为调节流出所述质量流量控制器的出口的所述流体的流量；至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为监测通过所述流动路径的流体和阀操作；以及控制器，所述控制器可通信地耦接到所述至少一个传感器和所述阀，所述控制器被调节以基于预定的设定点值和来自所述至少一个传感器的通信来控制所述阀，所述控制器进一步包括用于校准所述控制器的诊断系统；其中，所述诊断系统被配置为：确定设定点值调整次数；以及生成通知消息，所述通知消息指示所述设定点值调整次数等于预定的设定点值调整次数，其中，所述预定的设定点值调整次数根据总流体小时数而改变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 伊利诺斯工具制品有限公司 具有先进零趋势诊断的质量流量控制器
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