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申请/专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
摘要：一种用于大直径锑化镓晶体生长覆盖剂除杂装置，涉及晶体生长除杂技术领域，包括能够起到提升和旋转作用的机械臂和石英刮盘，石英刮盘安装在机械臂的下端，石英刮盘至少包括一块扇形的石英板，石英板的两侧在厚度方向上均带有用于收集覆盖剂杂质的斜面，两个斜面构成的夹角的顶点位于石英板的上方，石英板的中部带有用于盛放覆盖剂杂质的凹槽；在石英板的径向上，凹槽的底面呈斜面，斜面的高点位于石英板的外缘一侧，斜面的低点位于石英板的中心一侧；所述的凹槽为扇形结构，凹槽的扇形角等于石英板的扇形角。本实用新型能够通过石英刮盘的转动刮走液面薄层难溶浮渣，可保证纯度比较高的覆盖剂投入晶体生长中，从而提高单晶成品率。
主权项：1.一种用于大直径锑化镓晶体生长覆盖剂除杂装置，包括能够起到提升和旋转作用的机械臂（1），其特征在于：还包括石英刮盘（2），所述的石英刮盘（2）安装在机械臂（1）的下端，石英刮盘（2）至少包括一块扇形的石英板（4），石英板（4）的两侧在厚度方向上均带有用于收集覆盖剂（3）杂质的斜面（6），两个斜面（6）构成的夹角的顶点位于石英板（4）的上方，石英板（4）的中部带有用于盛放覆盖剂（3）杂质的凹槽（5）。
全文数据：
权利要求：
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