龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
摘要：本申请公开了一种多重磁场刻蚀装置，包括工作腔、载台、线圈、第一磁组和至少两层第二磁组，第一磁组和第二磁组均包括多个沿圆周方向间隔设置的永磁铁；线圈用作激发磁场，第一磁组用作约束磁场，第二磁组用作增强磁场；激发磁场促进等离子体生成，约束磁场将电子约束在线圈周围、即便于电子离化气体原子、又能够避免电子被腔壁引走，增强磁场能够提高晶圆附近的等离体子活性、加速晶圆刻蚀；本申请提供的刻蚀装置通过三重磁场配合，能够方便、有效地提高刻蚀效率，并保证刻蚀效果。
主权项：1.一种多重磁场刻蚀装置，其特征在于，包括：工作腔（100），用于为晶圆刻蚀提供空间；载台（200），设于所述工作腔（100）内，用于承接晶圆；线圈（310），设于所述工作腔（100）内、并悬于所述载台（200）上方；第一磁组（320），包括多块永磁铁，多块所述永磁铁围绕所述工作腔（100）并排布置成圈，所述线圈（310）临近所述第一磁组（320）的包围圈、或者至少部分所述线圈（310）处于所述第一磁组（320）的包围圈内；至少两层第二磁组（330），设于所述第一磁组（320）下方；所述第二磁组（330）包括多块永磁铁，多块所述永磁铁围绕所述工作腔（100）并排布置成圈；至少两层所述第二磁组（330）沿竖直方向并列设置；其中，所述线圈（310）用作激发磁场，所述第一磁组（320）用作约束磁场，所述第二磁组（330）用作增强磁场；刻蚀过程中，所述载台（200）携晶圆临近所述第二磁组（330）的包围圈，或者，至少部分晶圆处于所述第二磁组（330）的包围圈内；所述激发磁场能够电离反应气体、生成等离子体；所述约束磁场能够将电子约束在所述线圈（310）附近，从而促进电离反应、并阻止带电粒子向腔壁运动；所述增强磁场能够提高带电粒子的活性，通过增长电子的运动路径、增加粒子的碰撞次数，从而增加腔体内的等离子体浓度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡尚积半导体科技有限公司 多重磁场刻蚀装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号