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申请/专利权人:苏州实验室
摘要:本发明公开了一种紫外发光二极管,由下至上依次包括衬底、低温AlN成核层、高温AlN缓冲层、非掺杂AlGaN缓冲层、复合n型层、多量子阱有源区、p型AlGaN层和p型GaN欧姆接触层,以及设置在复合n型层上的n型电极和设置在p型GaN欧姆接触层上的p型电极,其中复合n型层是由石墨烯层、n‑AlGaN层、石墨烯层组成。本发明采用具有极高电子迁移率的二维石墨烯材料包夹n‑AlGaN层的复合层作为n型层,既能够缓解晶格失配,减少材料中的缺陷,提高外延层的晶体质量,又有利于电子迅速横向扩展,从而得以均匀地注入多量子阱有源区,提升紫外发光二极管的光电性能。
主权项:1.一种紫外发光二极管,其特征在于,包括由下至上依次设置的衬底101、低温AlN成核层102、高温AlN缓冲层103、非掺杂AlGaN缓冲层104、下层石墨烯层1051、n-AlGaN层1052、上层石墨烯层1053组成的复合n型层105、多量子阱有源区106、p型AlGaN层107和p型GaN欧姆接触层108,以及在所述n-AlGaN层1052上设置的n型电极109和在所述p型GaN欧姆接触层108上设置的p型电极110;所述下层石墨烯层1051、所述n型AlGaN层1052以及所述上层石墨烯层1053组成复合n型层105。
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