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一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯的制备方法 

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申请/专利权人:之江实验室

摘要:本发明公开了一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯的制备方法,所述制备方法包括:提供二维碲烯;将二维碲烯放入一密闭腔体内,通过碘蒸气对二维碲烯进行掺杂,得到N型碲烯。其中,通过碘蒸气对二维碲烯进行掺杂包括:将固态碘加热至30℃~45℃使固态碘升华为碘蒸气持续4‑9小时。基于此,本发明实施例还提供了一种由上述制备方法制得的N型碲烯,一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯场效应晶体管及其制备方法。本发明使用碘蒸气进行掺杂,工艺简单可控、制备周期短、安全无污染。

主权项:1.一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:提供二维碲烯;将二维碲烯放入一密闭腔体内,通过碘蒸气对二维碲烯进行掺杂,得到N型碲烯;其中,碘蒸气对二维碲烯进行掺杂包括:将固态碘加热至30℃~45℃使固态碘升华为碘蒸气持续4-9小时。

全文数据:

权利要求:

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