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申请/专利权人：江苏镭纳新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了负压效应下纳米粉体形核生长调控系统，包括工作端以及作用于工作端内部的热源与负压循环装置，工作端上分别设置有纳米粉体形核监测系统与纳米粉体动力监测系统，纳米粉体形核监测系统与纳米粉体动力监测系统数据传输至PC终端，PC终端将接收的数据处理后给予热源与负压循环装置调控反馈；本发明通过探究环境压力、气氛、运动流场和温度场对纳米粉体尺寸及成分的影响规律，实现高品质纳米粉体尺寸及成分精准调控。
主权项：1.负压效应下纳米粉体形核生长调控系统，其特征在于：包括工作端以及作用于所述工作端内部的热源与负压循环装置，所述工作端上分别设置有纳米粉体形核监测系统与纳米粉体动力监测系统，所述纳米粉体形核监测系统与所述纳米粉体动力监测系统数据传输至PC终端，所述PC终端将接收的数据处理后给予所述热源与所述负压循环装置调控反馈；所述工作端包括真空罐以及设置于其腔体内的靶材；所述热源包括垂直作用于所述靶材表面的等离子枪以及与所述等离子枪相互配合的激光源；所述纳米粉体形核监测系统包括嵌入式传感器、智能采集与监测模块以及熔池动力学模块，所述嵌入式传感器用于监测所述真空罐内部的环境压力、运动流场和温度，所述智能采集与监测模块用于采集与监测纳米粉体的生成位置与生长路径，所述熔池动力学模块用于监测所述靶材表面在非平衡状态下熔融、冷却、相变及应力的变化；所述纳米粉体动力监测系统包括瞬态流场捕捉模块、离散元模拟模块以及非弹性碰撞模拟模块，所述瞬态流场捕捉模块用于监测所述真空罐腔体内气流的分布变化规律，所述离散元模拟模块与所述非弹性碰撞模拟模块用于监测纳米粉体的动力学特征，构成负压状态下所述真空罐腔体内纳米粉体的流动分析模型；所述PC终端用于将接收的数据进行处理并与设定的纳米粉体生产参数进行对比，然后对所述热源与所述负压循环装置作出调控反馈，保证所述等离子枪、所述激光源参数以及真空室内压力的循环协同机制，实现对纳米粉体尺寸与成分分布的有效调控。
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