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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种离子束在线变束径加工装置及其变束径方法，本发明装置包括基座和顶盖，基座和顶盖上均设有用于供离子束穿过的中心通孔，顶盖通过一电机驱动并可转动地布置于基座的中心通孔一侧，基座上靠近顶盖的一侧设有沿着中心通孔的边缘均匀布置的多个圆孔，顶盖上靠基座的一侧设有多个导槽，基座和顶盖之间设有围绕中心通孔围合形成光阑孔的多个光阑片，光阑片两端各设有一个导柱，且一个导柱插设布置在圆孔中、另一个导柱滑动布置在导槽中。本发明旨在克服现有离子束加工时反复开关真空腔、离子源降低加工效率的问题，实现对变束径过程的精确稳定控制，提高加工精度和效率。
主权项：1.一种离子束在线变束径加工装置，其特征在于，包括基座（1）和顶盖（2），所述基座（1）和顶盖（2）上均设有用于供离子束穿过的中心通孔（10），所述顶盖（2）通过一电机（61）驱动并可转动地布置于基座（1）的中心通孔（10）一侧，所述基座（1）上设有靠近顶盖（2）的一侧设有沿着中心通孔（10）的边缘均匀布置的多个圆孔（11），所述顶盖（2）上靠基座（1）的一侧设有多个导槽（21），所述基座（1）和顶盖（2）之间设有围绕中心通孔（10）部分重叠布置且围合形成可供离子束穿过的光阑孔（30）的多个光阑片（3），所述光阑片（3）两端的不同侧面各设有一个导柱（31），且一个导柱（31）插设布置在圆孔（11）中、另一个导柱（31）滑动布置在导槽（21）中，所述光阑片（3）为弧形条状且两端为圆弧状，所述光阑片（3）的数量为： ，上式中，为光阑片（3）的数量，为光阑孔（30）的最大半径，为光阑孔（30）的最小半径，为弧形条状的外圆弧半径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种离子束在线变束径加工装置及其变束径方法
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