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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：加工方法是对保持于保持器具的加工对象物进行加工的加工方法，取得与载置于加工装置的保持器具的基准部位在加工坐标系中的位置有关的保持器具信息，将保持器具设置于测量装置，使用测量装置取得包含与测量坐标系中的保持器具上的加工对象物的三维形状有关的信息和与测量坐标系中的基准部位的位置有关的信息的测量信息，根据保持器具信息和测量信息生成加工路线信息，将从测量装置取出的保持器具载置于加工装置，根据加工路线信息对载置于加工装置的保持器具上的加工对象物进行加工。
主权项：1.一种加工方法，使用通过对保持于保持器具的加工对象物照射加工光束而能够对所述加工对象物进行加工的加工装置，对所述加工对象物进行加工，其中，该加工方法包含如下步骤：取得保持器具信息，该保持器具信息包含与载置于所述加工装置的基准载置位置的所述保持器具的基准部位在所述加工装置的加工坐标系中的位置有关的信息；将保持所述加工对象物的所述保持器具设置于测量装置；使用所述测量装置取得测量信息，该测量信息包含与所述测量装置的测量坐标系中的所述保持器具上的所述加工对象物的三维形状有关的信息和与所述测量坐标系中的所述基准部位的位置有关的信息；从所述测量装置取出保持所述加工对象物的所述保持器具；根据在将从所述测量装置取出的保持所述加工对象物的所述保持器具设置于所述加工装置之前取得的所述保持器具信息和所述测量信息，生成表示为了对所述加工对象物进行加工而应该照射所述加工光束的目标照射位置的所述加工坐标系中的加工路线信息；将从所述测量装置取出的保持所述加工对象物的所述保持器具载置于所述加工装置的所述基准载置位置；以及根据所述加工路线信息对载置于所述加工装置的所述基准载置位置的所述保持器具上的所述加工对象物进行加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尼康 加工方法、加工系统以及信息取得方法
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