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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本公开提供一种信息收集系统、检查用基板以及信息收集方法，能够获取功能构件与基板之间的距离信息。本公开的一个方面所涉及的信息收集系统获取与基板处理装置有关的信息，所述基板处理装置具备：保持部，其用于保持基板；以及功能构件，其在基板被保持于保持部时位于基板的背面侧。该信息收集系统具备：主体部，其具有能够由保持部保持的底面；照射部，其相对于主体部固定，用于从斜上方对功能构件照射测定波；检测部，其相对于主体部固定，用于检测由于照射来自照射部的测定波而产生的响应；以及运算部，其基于在检测部中检测到的响应，来获取主体部与功能构件之间的间隔的信息。
主权项：1.一种信息收集系统，获取与基板处理装置有关的信息，所述基板处理装置具有用于保持基板的保持部、以及在所述基板被保持于所述保持部时位于所述基板的背面侧的功能构件，所述信息收集系统具备：主体部，其具有能够由所述保持部保持的底面；照射部，其相对于所述主体部固定，用于从斜上方对所述功能构件照射测定波；检测部，其相对于所述主体部固定，用于检测由于照射来自所述照射部的所述测定波而产生的响应；以及运算部，其基于在所述检测部中检测到的所述响应，来获取所述主体部与所述功能构件之间的间隔的信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 信息收集系统、检查用基板以及信息收集方法
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