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申请/专利权人：日立安斯泰莫株式会社
摘要：提供提高了检查的判定精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。缺陷检查方法具有：图像取得步骤，缺陷检查装置使被检查物和摄像部的相对姿态变化，按每个相对姿态进行拍摄，取得多个图像；特征量取得步骤，缺陷检查装置取得对多个图像分别扫描而得到的特定的特征作为第一特征量；波形数据取得步骤，缺陷检查装置取得将第一特征量按相对姿态的变化的顺序排列后的第一波形数据；以及缺陷判定步骤，缺陷检查装置根据第一波形数据进行缺陷的判定。
主权项：1.一种缺陷检查装置，其为进行被检查物的缺陷判定的缺陷检查装置，其特征在于，具备：图像取得部，使所述被检查物和摄像部的相对姿态变化，按每个所述相对姿态进行拍摄，取得多个图像；特征量取得部，取得对所述多个图像分别扫描而得到的特定的特征作为第一特征量；波形数据取得部，取得将所述第一特征量按所述相对姿态的变化的顺序排列后的第一波形数据；以及缺陷判定部，根据所述第一波形数据进行缺陷的判定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日立安斯泰莫株式会社 缺陷检查装置以及缺陷检查方法
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