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申请/专利权人：扬州新鹏能源科技有限公司

摘要：本发明公开了一种单晶硅片的倒角加工设备，涉及硅片加工技术领域。一种单晶硅片的倒角加工设备，包括底座机构和顶吸机构，底座机构包括底座，底座的上方中部设置有用于正位托举单晶硅片的底托组件，底托组件和底座之间固定连接有用于支撑的第一支架，底托组件的下部外侧设置有固定连接第一支架的框环，框环活动套接有正位组件，底托组件包括固定连接第一支架的第一柱筒，第一柱筒的上端活动嵌装有第一吸盘，第一吸盘的下侧固定连接有转柱，转柱通过轴承活动嵌接第一柱筒，顶吸机构包括正对底托组件的顶吸组件，顶吸组件和第一支架之间固定连接有用于支撑的第二支架，一种单晶硅片的倒角加工设备，减少单晶硅片边缘的单边受力问题。

主权项：1.一种单晶硅片的倒角加工设备，包括底座机构1和顶吸机构4；所述底座机构1包括底座101，所述底座101的上方中部设置有用于正位托举单晶硅片的底托组件，所述底托组件和底座101之间固定连接有用于支撑的第一支架107，所述底托组件的下部外侧设置有固定连接第一支架107的框环108；所述框环108活动套接有正位组件；其特征在于：所述底托组件包括固定连接第一支架107的第一柱筒102，所述第一柱筒102的上端活动嵌装有第一吸盘103，所述第一吸盘103的下侧固定连接有转柱104，所述转柱104通过轴承活动嵌接第一柱筒102；所述顶吸机构4包括正对底托组件的顶吸组件，所述顶吸组件和第一支架107之间固定连接有用于支撑的第二支架405；所述顶吸组件的一侧设置有第一电轨406，所述第一电轨406和底座101之间固定连接有用于支撑的第三支架407，所述第一电轨406的下侧滑动插接有连杆408，所述连杆408的下端固定连接有第二电轨409；所述第二电轨409上滑动连接有加工机构5，所述加工机构5包括两个磨板组件，每个所述磨板组件均包括有滑动插接第二电轨409的滑台501，所述滑台501的中部一侧固定连接有立柱502，所述立柱502的端头通过转轴活动连接有磨板503，所述立柱502的上下两侧分别设置有第三电动伸缩柱504，所述第三电动伸缩柱504的固定端通过转轴活动连接滑台501，所述第三电动伸缩柱504的输出端通过转轴活动连接磨板503。

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