龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明提供了一种平面型无寄生电容的有机场效应晶体管的制作方法：1在玻璃基底表面用钼片掩模，热蒸镀铬作为金与玻璃的黏附层，再蒸镀金电极作为源电极和漏电极，然后利用光刻在金电极上做出预设的栅极图案；2用湿法刻蚀去除多余的铬和金，将栅极图案中连接着的金电极分隔成源电极和漏电极；3用掩模版热蒸镀与金相同厚度的铝作为栅电极，然后用氧等离子体处理栅电极，在铝上原位生长氧化铝作为介电层；4将蒸镀好电极的基片放入预热80℃的DMSO中超声5min两次，再将溶液换为丙酮继续超声5min后换为异丙醇超声5min后用氮气吹干。本发明制作方法制作的晶体管电极处于同一水平高度，该结构能够保证寄生重叠为0，将寄生电容完全消除。
主权项：1.一种平面型无寄生电容的有机场效应晶体管，其特征在于，其包括：基底（1）、源电极（301）、栅电极（501）、介电层（502）、漏电极（302）；源电极（301）、栅电极（501）和漏电极（302）设置在基底（1）上；介电层（502）位于栅电极（501）上；源电极（301）和漏电极（302）与基底（1）之间分别设置有黏附层（2）；源电极（301）、栅电极（501）和漏电极（302）处于同一水平高度，器件的整体高度控制为20-30nm，同一水平高度的结构保证寄生重叠为0，将寄生电容完全消除；所述基底（1）的材料为玻璃或硅中的一种，源电极（301）和漏电极（302）的材料为金，金的厚度为20-30nm；所述栅电极（501）的材料为铝，铝的厚度为20-30nm；介电层（502）的材料为氧化铝；所述黏附层（2）的材料为铬，铬的厚度为2nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 一种平面型无寄生电容的有机场效应晶体管及其制作方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号