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一种应用在MEMS气体传感器的控温模块 

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申请/专利权人:启思半导体(杭州)有限责任公司

摘要:本发明涉及气体传感器的技术领域,具体为一种应用在MEMS气体传感器的控温模块,包括有安装基板,安装基板的一侧表面连接有半封闭金属保温罩,半封闭金属保温罩的内部设置有气体传感器阵列,在气体传感器阵列的旁边安装有腔室内温度传感器,半封闭金属保温罩内还安装有安装架,安装架上设置有加热网板。本发明提出的一种应用在MEMS气体传感器的控温模块,设置有半封闭金属保温罩,不仅在控温上使用了加热温控温度传感器,并且同时设置外接环境温度传感器和腔室内温度传感器,可以测量半封闭金属保温罩外部环境和内部的温度,而且可以通过AI模型实时进行温度调控,在温度稳定的同时,通过不同环境的决策,使气体传感器阵列保持在最佳的状态。

主权项:1.一种应用在MEMS气体传感器的控温模块,包括有安装基板(1),其特征在于:所述安装基板(1)的一侧表面连接有半封闭金属保温罩(2),所述半封闭金属保温罩(2)的内部设置有气体传感器阵列(3),在气体传感器阵列(3)的旁边安装有腔室内温度传感器(7),所述半封闭金属保温罩(2)内还安装有安装架(4),所述安装架(4)上设置有加热网板(5),所述加热网板(5)连接有加热温控温度传感器(8),所述安装基板(1)表面位于半封闭金属保温罩(2)的旁边设置有外接环境温度传感器(6),所述安装基板(1)的另一侧设置有便于拆装的安装机构,所述半封闭金属保温罩(2)上安装有可调节的进气机构。

全文数据:

权利要求:

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