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申请/专利权人：成都安瞳半导体有限公司
摘要：本发明涉及一种半导体激光器管芯检测装置及检测方法，属于半导体器件检测领域包括：光源、测量板和处理器，光源照射向管芯侧面；测量板连接有若干密集排布的光电管，光源射出的光经过管芯侧面的反射后射向光电管；处理器接收若干光电管被光照产生的电信号，并将电信号处理为具有尺寸的光斑区；其能解决现有技术中采用刻度显微镜提供的是二维图像，当PN结管芯的放置存在偏差时，刻度显微镜无法准确测量出复杂的三维结构，无法全面准确地测量有源区尺寸的技术问题。
主权项：1.一种半导体激光器管芯检测装置，其特征在于，包括：光源（202），照射向管芯侧面；测量板（2），连接有若干密集排布的光电管（201），所述光源（202）射出的光经过管芯侧面的反射后射向所述光电管（201）；处理器，接收若干所述光电管（201）被光照产生的电信号，并根据接收的电信号数量计算出光斑区的尺寸；反射板（3），连接于所述测量板（2）背离所述光源（202）的一侧，并与所述测量板（2）之间形成反射空间；所述光源（202）连接于所述测量板（2）背离所述光电管（201）的一面，所述光源（202）射出的光线依次在所述管芯侧面和反射板（3）进行反射后射向所述光电管（201）；基座（1），与所述反射板（3）旋转连接；两个支撑辊（4），连接于所述基座（1），两个所述支撑辊分别抵接于所述管芯两个相邻的侧面；压敏电阻（403），连接于所述支撑辊（4）与所述基座（1）之间，所述压敏电阻（403）用于识别所述支撑辊（4）所受下压力的变化；电机二（401），与所述支撑辊（4）连接，所述电机二（401）驱动所述支撑辊（4）转动，所述压敏电阻（403）连接于所述电机二（401）与所述基座（1）之间，通过两个独立的电机二（401）分别旋转并驱动各自对应的所述支撑辊（4）以使两个所述支撑辊（4）所受下压力达到预设值。
全文数据：
权利要求：
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