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一种球面栅极组件间距的测量方法 

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申请/专利权人:上海工程技术大学

摘要:本发明公开了一种球面栅极组件间距的测量方法,利用密度搜索法区分点云数据中的边缘点和非边缘点,获取边缘点集合E,再利用聚类分析法对边缘点集合E进行分类,获取聚类簇集合C;利用最大距离分析法,根据任意两点之间的距离情况获取每个聚类簇Cl内部点的最大距离分布情况,利用非参数估计法对基于最大距离分布情况拟合得到的概率密度函数进行优化获得最优的区间宽度,进而提取最大距离分布中的特征点,以此组成的区域即为稳定区域,然后对所述稳定区域进行圆孔识别;利用协方差矩阵对各个稳定区域中的圆孔进行上下层圆孔区分,获取上层圆孔的圆心集,再利用坐标变换找到与上层圆孔的圆心集对应的下层圆孔的圆心集,完成栅极组件的间矩测量。

主权项:1.一种球面栅极组件间距的测量方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一、获取栅极组件的点云数据并进行预处理,去除噪声点;步骤二、利用密度搜索法,区分点云数据中的边缘点和非边缘点,获取边缘点集合E,再利用聚类分析法对边缘点集合E进行分类,获取聚类簇集合C={Cl|Cl,l=1,2,3,…,m},Cl表示第l个聚类簇;步骤三、利用最大距离分析法,根据任意两点之间的距离情况获取每个聚类簇Cl内部点的最大距离分布情况,利用非参数估计法对基于最大距离分布情况拟合得到的概率密度函数进行优化,获得最优的区间宽度,进而提取最大距离分布中的特征点,以此组成的区域即为稳定区域,然后对所述稳定区域进行圆孔识别;步骤四、利用协方差矩阵对各个稳定区域中的圆孔进行上下层圆孔区分,获取上层圆孔的圆心集,再利用坐标变换找到与上层圆孔的圆心集对应的下层圆孔的圆心集,从而完成栅极组件的间距测量;所述非参数估计法包括以下步骤:步骤⑴、记集合MaxD中的元素为d1,d2…dn*,使用集合MaxD中的元素为样本数据建立密度直方图;步骤⑵、通过拟合建立概率密度函数为了使样本数据分布的整体概率为1,对密度直方图进行整体归一化处理,设所述密度直方图的分布区间均为Bk*=[tk*,tk*+1],且对于所有k*而言,h=tk*+1-tk*表示区间宽度,vk*表示分布区间Bk*的概率函数即分布区间Bk*内堆叠点的个数,则单个最大距离d的概率密度权重应为1hn*,对应拟合得到概率密度函数为: 步骤⑶、建立误差函数Errd,以所述误差函数作为优化标准对概率密度函数进行非参数优化,计算获得区间宽度h的最优解h*;由于每一个样本数据仅可存在于一个分布区间Bk*中,则分布区间Bk*的概率函数vk满足二项分布,设pk为分布区间Bk*的概率, 所以可得概率密度函数在分布区间Bk*上的方差和偏差为: 则对应的误差函数其中,y表示实际的概率密度函数,fd表示实际分布函数;当误差函数Errd最小时,即可获得区间宽度h的最优解h*的值,从而完成非参数估计的优化过程。

全文数据:

权利要求:

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