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申请/专利权人：鼎洲科技股份有限公司
摘要：一种具有能替换式边角件的晶圆盒，适用于供至少一晶圆半导体晶体圆形片的简称装载，并包含盒体、四能拆卸替换地组装于所述盒体的边角件。所述盒体包括四定位螺丝，且具有四个彼此相间隔的壁角，每一个所述壁角具有至少一侧凸墙及形成有穿孔。每一个所述边角件具有至少一外侧面，且面向对应的所述壁角的一面形成有供对应的所述定位螺丝螺接的螺孔。每一个所述外侧面形成有供对应的所述侧凸墙卡合的卡槽。通过所述侧凸墙分别与所述卡槽卡合，所述定位螺丝分别穿设所述穿孔并分别螺接于所述边角件的所述螺孔，使所述边角件能替换，节省成本。
主权项：1.一种具有能替换式边角件的晶圆盒，包含盒体，所述盒体包括框架，所述框架具有四个彼此相间隔的壁角，其特征在于：所述具有能替换式边角件的晶圆盒还包含四边角件，每一个所述边角件能拆卸替换地组装于对应的所述壁角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鼎洲科技股份有限公司 具有能替换式边角件的晶圆盒
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