龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆安装台面的清洗设备，用于晶圆安装台面的清洗设备包括：安装底座、支撑臂、喷头、气管、水管、第二驱动电机和油石。支撑臂的一端与安装底座连接；喷头连接于支撑臂的远离安装底座的一端，喷头适于朝向晶圆安装台面喷射；气管的一端与喷头连接，用于向喷头输送有一定压力的压缩空气；水管的一端与喷头连接，用于向喷头输送去离子水，喷头适于朝向晶圆安装台面喷射压缩空气和去离子水形成的混合物；第二驱动电机设于安装底座上；油石与第二驱动电机的输出轴连接，用于磨削晶圆安装台面。根据本实用新型的用于晶圆安装台面的清洗设备，清洗设备可以有效清洁晶圆安装台面，提高清洗效果的同时能降低成本。
主权项：1.一种用于晶圆安装台面的清洗设备，其特征在于，包括：安装底座；支撑臂，所述支撑臂的一端与所述安装底座连接；喷头，所述喷头连接于所述支撑臂的远离所述安装底座的一端，所述喷头适于朝向晶圆安装台面喷射；气管，所述气管的一端与所述喷头连接，用于向所述喷头输送有一定压力的压缩空气；水管，所述水管的一端与所述喷头连接，用于向所述喷头输送去离子水，所述喷头适于朝向晶圆安装台面喷射压缩空气和去离子水形成的混合物；第二驱动电机，所述第二驱动电机设于所述安装底座上；油石，所述油石与所述第二驱动电机的输出轴连接，用于磨削所述晶圆安装台面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 用于晶圆安装台面的清洗设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号