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申请/专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
摘要：本实用新型提供一种气相分散装置以及包括其的气相沉积装置，气体分散装置包括气体分散组件和承载组件；气体分散组件包括沿气体流向依次连接的第一分散壳体、第二分散壳体和第三分散壳体；第一分散壳体内设置有搅拌器；第二分散壳体与第三分散壳体之间通过多个通气口连通；第三分散壳体的出气侧遍布多个出气口；承载组件位于气体分散组件的出气侧，承载组件用于放置待处理件。本实用新型通过多级分散，不仅实现了气体混合均匀，而且实现了出气均匀。
主权项：1.一种气体分散装置，其特征在于，所述气体分散装置包括气体分散组件；所述气体分散组件包括沿气体流向依次连接的第一分散壳体、第二分散壳体和第三分散壳体；所述第一分散壳体内设置有搅拌器；所述第二分散壳体与所述第三分散壳体之间通过多个通气口连通；所述第三分散壳体的出气侧遍布多个出气口，所述第三分散壳体的出气侧朝向待处理件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东聚华印刷显示技术有限公司 气体分散装置以及包括其的气相沉积装置
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