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申请/专利权人：连云港龙塔研磨材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种制备单晶碳化硅薄膜的化学气相沉积装置，其包括：底板的上表面固定连接有沉淀箱，沉淀箱的上表面固定连接有抽气机，抽气机的输出端固定连接有吸气管，吸气管远离抽气机的一端固定连接有吸气头，抽气机的后表面固定连接有输送管，输送管远离抽气机的一端固定连接有废气箱，沉淀箱的下底壁活动连接有沉淀仓，底板的上表面固定连接有储气箱，储气箱的上表面固定连接有排气管，排气管上设置有排气阀，沉淀箱的右表面固定连接有进气管，通过以上装置，有益于将沉淀箱周围的废气或有害气体进行收集，减少工作环境的污染，同时方便清理减少杂质堆积，并延长设备使用寿命。
主权项：1.一种制备单晶碳化硅薄膜的化学气相沉积装置，其特征在于，包括：底板4，所述底板4的上表面固定连接有沉淀箱1，所述沉淀箱1的上表面固定连接有抽气机10，所述抽气机10的输出端固定连接有吸气管8，所述吸气管8远离抽气机10的一端固定连接有吸气头7，所述抽气机10的后表面固定连接有输送管18，所述输送管18远离抽气机10的一端固定连接有废气箱11，所述沉淀箱1的下底壁活动连接有沉淀仓15，所述底板4的上表面固定连接有储气箱12，所述储气箱12的上表面固定连接有排气管13，所述排气管13上设置有排气阀14，所述沉淀箱1的右表面固定连接有进气管9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连云港龙塔研磨材料有限公司 一种制备单晶碳化硅薄膜的化学气相沉积装置
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