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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体公开了一种化学气相沉积分子打散混合器；包括外壳、内筒、法兰、进口连接环、出口连接环、固定柱、金属丝网和密封层，在内筒中设有若干片金属丝网，在内筒上对应金属丝网的位置沿周向开设有穿线孔，金属丝网为金属丝线穿过穿线孔编织制成，金属丝网为金属丝线横纵垂直网状结构，相邻两个金属丝网之间轴向旋转α度设置，在内筒外壁包覆有密封层；本发明利用金属丝线与大分子团簇的碰撞破坏分子间的范德华力使大分子团簇分散的原理，将多种物料进行混合，有利于形成大小一致的硅晶体；同时采用在内筒上打孔穿金属丝线编织成金属丝网的方式代替传统混合器内构件焊接的方式，降低了物料被焊点中杂质污染的风险。
主权项：1.一种化学气相沉积分子打散混合器，其特征在于，包括外壳（1）、内筒（2）、法兰（3）、进口连接环（4）、出口连接环（5）、固定柱（6）、金属丝网（7）和密封层（8），在外壳（1）内同轴设有内筒（2），在外壳（1）两端固定连接有法兰（3），内筒（2）的进口处密封连接有进口连接环（4），内筒（2）的出口处密封连接有出口连接环（5），进口连接环（4）和出口连接环（5）分别与法兰（3）密封连接，在外壳（1）内沿内筒长度方向固定设有两个以上的固定柱（6），在内筒（2）中设有若干片金属丝网（7），在内筒（2）上对应金属丝网（7）的位置沿周向开设有若干穿线孔，金属丝网（7）为金属丝线穿过穿线孔编织制成，金属丝网（7）为金属丝线横纵垂直网状结构，相邻两个金属丝网（7）之间轴向旋转α度设置，在内筒（2）外壁包覆有密封层（8），包覆层（8）与固定柱（6）抵接。
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权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种化学气相沉积分子打散混合器
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