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一种等离子蚀刻机 

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申请/专利权人:超芯微科技(苏州)有限公司

摘要:本实用新型涉及一种等离子蚀刻机,包括机体以及固设于所述机体中部的等离子体发生器;所述机体内设置有转盘,所述转盘的顶部内圆周面设置为齿轮状;所述转盘的表面设置有若干个PCB板固定件;所述机体的内部设置有与所述转盘啮合连接的主齿轮、以及驱动所述主齿轮转动以带动所述转盘转动的驱动电机;使用时,将PCB板放置在PCB板固定件上,而后启动驱动电机驱动主齿轮带动转盘转动,以将PCB板移动至等离子发生器的蚀刻喷头下方进行蚀刻;通过采用转盘上料,一次可以将多个PCB板放置在等离子蚀刻机内进行蚀刻,效率高;同时通过设置带蚀刻缺口的防护罩体,可以有效的对待蚀刻或已蚀刻的PCB板进行防护,保证产品质量。

主权项:1.一种等离子蚀刻机,其特征在于:包括机体以及固设于所述机体中部的等离子体发生器;所述机体内设置有转盘,所述转盘的顶部内圆周面设置为齿轮状;所述转盘的表面设置有若干个PCB板固定件;所述机体的内部设置有与所述转盘啮合连接的主齿轮、以及驱动所述主齿轮转动以带动所述转盘转动的驱动电机。

全文数据:

权利要求:

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