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申请/专利权人：苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
摘要：本发明涉及光学波导器件技术领域，公开了一种光学波导器件端面的镀膜方法、光学波导器件及掩膜陪条，该方法包括：提供光学波导器件和第一掩膜陪条，光学波导器件在第一预设方向上具有待镀膜的前腔面和后腔面，第一掩膜陪条包括本体和延伸部，延伸部位于本体在第一预设方向上的其中一端，自本体向第二预设方向延伸，且延伸部形成预设微纳图形，第一预设方向和第二预设方向相互垂直；将光学波导器件和第一掩膜陪条放置在夹具上，使光学波导器件的目标面与延伸部贴合，目标面为前腔面或后腔面；在目标面上形成具有预设微纳图形的薄膜层。本发明能够在实现对光学波导器件的波导进行修饰，从而对性能进行调控，进而提升器件性能或实现特定功能。
主权项：1.一种光学波导器件端面的镀膜方法，其特征在于，所述方法包括：提供光学波导器件和第一掩膜陪条，其中，所述光学波导器件在第一预设方向上具有待镀膜的前腔面和后腔面，所述第一掩膜陪条包括本体和延伸部，所述延伸部位于所述本体在第一预设方向上的其中一端，自所述本体向第二预设方向延伸，且所述延伸部形成预设微纳图形，所述第一预设方向和所述第二预设方向相互垂直；将所述光学波导器件和所述第一掩膜陪条放置在夹具上，使所述光学波导器件的目标面与所述延伸部贴合，其中，所述目标面为所述前腔面或所述后腔面；在所述目标面上形成具有预设微纳图形的薄膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 光学波导器件端面的镀膜方法、光学波导器件及掩膜陪条
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