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申请/专利权人：马克斯·普朗克科学促进学会
摘要：本发明涉及一种使用热激光蒸发TLE系统100的方法，该系统100包括：反应腔室10，可填充反应气氛14；一个或多个源30，布置在反应腔室10中，每个源30包括源材料32；以及激光源50，用于在源30的表面34处提供激光辐射52并由此蒸发源材料32。此外，本发明涉及一种热激光蒸发系统100，其包括：反应腔室10，可填充反应气氛14；一个或多个源30，布置在反应腔室10中，每个源包括源材料32；以及由反应腔室10提供的耦合装置12，用于将激光辐射52耦合到反应腔室10中，以撞击源30的表面34并由此蒸发源材料32。
主权项：1.一种使用热激光蒸发TLE系统100的方法，所述系统100包括：反应腔室10，能够填充反应气氛14；一个或多个源30，布置在所述反应腔室10中，每个源30包括源材料32；以及激光源50，用于在所述源30的表面34处提供激光辐射52并由此蒸发所述源材料32，其中，所述激光辐射52具有空间调制强度图案60，其中，所述空间调制强度图案60包括具有至少局部最大强度的两个或更多个间隔开的加热点70。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 马克斯·普朗克科学促进学会 使用热激光蒸发系统的方法及热激光蒸发系统
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