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申请/专利权人：上海磊尚智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种基片对齐装置及其对齐方法，属于键合技术领域，应用于具有上压块和下压块的键合设备，对齐装置包括升降组件、分隔组件以及对齐组件；升降组件包括相对于机架固定连接的升降机构以及固定在升降机构的输出端的升降导杆，下压块开设有供升降导杆穿入的贯通孔；分隔组件包括至少两个呈周向间隔状固定在机架上的分隔伸缩机构，分隔伸缩机构的输出端均固定有分隔块，各分隔块位于同一水平高度；对齐组件包括固定在机架上且相互交错布置的两组共四个对齐伸缩机构，各对齐伸缩机构的输出端均固定有对齐块。本发明结构设计合理，能够高效且准确的对两个基片进行对齐操作。
主权项：1.一种基片对齐装置，应用于键合设备，所述键合设备包括机架，所述机架上设有自上而下布置且沿竖直方向相对运动的上压块和下压块，其特征在于，所述对齐装置包括：升降组件，包括升降机构和升降导杆，所述升降机构相对于所述机架固定连接，所述升降导杆与所述升降机构的输出端固定连接，所述下压块开设有供所述升降导杆穿入的贯通孔；分隔组件，包括至少两个呈周向间隔状固定在所述机架上的分隔伸缩机构，所述分隔伸缩机构的输出端均固定有分隔块，各所述分隔块位于同一水平高度；以及对齐组件，包括沿第一水平方向相对布置的两个第一对齐伸缩机构以及沿第二水平方向相对布置的两个第二对齐伸缩机构，所述第一水平方向与所述第二水平方向相交；其中，所述第一对齐伸缩机构和所述第二对齐伸缩机构均相对于所述机架固定连接，且所述第一对齐伸缩机构和所述第二对齐伸缩机构的输出端均固定有对齐块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海磊尚智能科技有限公司 一种基片对齐装置及其对齐方法
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