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一种摩擦电式压力传感器的基片涂覆设备 

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申请/专利权人:苏州摩感电子科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种摩擦电式压力传感器的基片涂覆设备,包括:设备机体,设置在所述设备机体顶部用于对基片进行涂覆的涂覆组件,以及设置在所述设备机体顶部的离心收集组件;通过在设备机体的顶部设置离心收集组件,通过变频电机的配合,可以根据涂覆时所需的涂覆厚度和均匀度提供相应的离心力,利用涂覆组件可以对基片本体进行涂覆工作,在离心涂覆的过程中,通过收集框和收集槽的配合,可以对脱离基片本体的溶胶进行收集,离心涂覆完成后,通过连接孔、定位孔、连接螺栓和连接螺母的配合,可以将收集框从支撑圆板的底部拆卸脱离,进而可以将收集的溶胶进行回收利用,避免了浪费的情况,操作简单便捷,提高了装置使用时的实用性和便捷性。

主权项:1.一种摩擦电式压力传感器的基片涂覆设备,其特征在于,包括:设备机体1,设置在所述设备机体1顶部用于对基片进行涂覆的涂覆组件,以及设置在所述设备机体1顶部的离心收集组件;所述离心收集组件包括:设置在所述设备机体1底部的变频电机2,设置在所述变频电机2位于所述设备机体1顶部输出轴的支撑圆板21,以及设置在所述支撑圆板21顶部的基片本体22;所述支撑圆板21的侧面设置有收集框3,所述收集框3的内侧底部设置有收集槽31,所述收集框3的内侧开设有若干连接孔32,所述支撑圆板21的表面开设有若干定位孔33,若干所述连接孔32和若干所述定位孔33的内侧设置有连接螺栓34,所述连接螺栓34的侧面螺纹连接有连接螺母35。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州摩感电子科技有限公司 一种摩擦电式压力传感器的基片涂覆设备

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