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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明公开了一种同步瞬态力电耦合测试芯片结构及制备方法，该芯片功能区包括支撑梁、拉伸热执行器、静电执行器、样品台、应变电容传感器、应力电容传感器、电极引线压焊块和衬底；其中衬底用于承载器件层，器件层下方具有衬底掏空结构，并且执行器与传感器之间用高阻硅或玻璃的连接件做力学连接与电学隔离。该器件对应力补偿控制部件设计主动时间判断算法，实现对微纳米材料样品的同步、瞬态力电耦合测试。
主权项：1.一种同步瞬态力电耦合测试芯片结构，其特征在于，包括器件层和衬底，器件层通过锚点固定在衬底上，器件层下方具有衬底掏空结构；所述器件层包括第一支撑梁、拉伸热执行器、应变电容传感器、第一引线梁、第一样品台、第二样品台、第二引线梁、应力电容传感器、第二支撑梁和静电执行器；且均位于同一平面内；拉伸热执行器和静电执行器均为轴对称结构，且对称轴线均位于同一对称轴线上，应变电容传感器和应力电容传感器均为中心对称结构，对称中心位于该对称轴线上，第二样品台和第一样品台也位于对称轴线上；第一支撑梁、第一引线梁、第二引线梁、第二支撑梁的两端分别通过锚点固定在衬底上；第一支撑梁、拉伸热执行器、应变电容传感器、第一引线梁依次连接，第一支撑梁对拉伸热执行器起支撑作用，第一引线梁对应变电容传感器起支撑作用，第一引线梁的表面设置有电极引线；第一样品台设置在应变电容传感器的一端；第一样品台随应变电容传感器和拉伸热执行器沿对称轴线运动；第二引线梁和第二支撑梁与应力电容传感器连接，且分别位于应力电容传感器的两侧，用于对应力电容传感器起支撑作用；第二引线梁上表面设置电极引线，应力电容传感器与静电执行器连接，应力电容传感器的一端设置第二样品台；第一样品台与第二样品台相邻近；第一引线梁上表面的电极引线与第二引线梁上表面的电极引线构成四探针测试电路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种同步瞬态力电耦合测试芯片结构及制备方法
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