龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明公开一种纳米薄膜闪耀光栅耦合器，包括依次设置的波导区域、模斑转换器区域和耦合器区域，所述耦合区域包括若干个光栅周期，每个光栅周期由依次设置的亚波长光栅结构区域、超薄波导区域和厚波导区域组成；所述亚波长光栅结构区域内等间距的排列设置有若干个光栅蚀刻孔，所述光栅蚀刻孔均为贯穿光栅耦合器层顶部与底部的通孔；所述超薄波导结构区域厚度与亚波长光栅结构区域一致；所述厚波导区域厚度大于超薄波导区域厚度和亚波长光栅结构区域厚度，形成阶梯状结构，以提升光栅耦合器的方向性，从而增大耦合效率。该光栅耦合器具有高耦合效率、大制作容差等优点，为实现集成光电子芯片的广泛应用奠定了基础。
主权项：1.一种纳米薄膜闪耀光栅耦合器，其特征在于，包括依次设置的波导区域7、模斑转换器区域6和耦合器区域5，所述耦合区域5包括若干个光栅周期，每个光栅周期由依次设置的亚波长光栅结构区域1、超薄波导区域2和厚波导区域3组成；所述亚波长光栅结构区域1内等间距的排列设置有若干个光栅蚀刻孔4，所述光栅蚀刻孔4均为贯穿光栅耦合器层顶部与底部的通孔；所述超薄波导结构区域2厚度与亚波长光栅结构区域1一致；所述厚波导区域3厚度大于超薄波导区域2厚度和亚波长光栅结构区域1厚度，形成阶梯状结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 一种纳米薄膜闪耀光栅耦合器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号