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申请/专利权人：FEI公司
摘要：用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘并找到其位置的方法。本发明提供了用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘的方法。该方法涉及提供包含电离边缘的测量的EELS光谱以及输出模拟的EELS光谱的数值模型，该模拟的EELS光谱具有作为输入参数的电离边缘的位置。将该数值模型拟合到该测量的EELS光谱，并且提供该电离边缘的拟合位置。使用统计检验在该统计检验通过统计阈值的情况下确认该电离边缘为真电离边缘。该方法可用于多种应用，包括材料科学、化学和物理，以提高EELS光谱分析的准确性。
主权项：1.一种用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘的方法，所述方法包括以下步骤：-提供包含电离边缘的测量的EELS光谱；-提供用于输出模拟的EELS光谱的数值模型，所述数值模型至少具有作为输入参数的电离边缘的位置；-将所述数值模型拟合到所述测量的EELS光谱并且提供所述电离边缘的拟合位置；以及-使用统计检验用于在所述统计检验通过统计阈值的情况下确认所述电离边缘为真电离边缘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘并找到其位置的方法
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