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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本申请公开了在配给下通过混合的浆料温度控制。一种化学机械抛光系统包括：平台，所述平台用于支撑具有抛光表面的抛光垫；加热流体的源；储藏室，所述储藏室用于保持抛光液体；以及配给器，所述配给器具有悬吊在平台之上的一个或多个孔，以将抛光液体引导至抛光表面上，其中加热流体的源耦合至配给器，并且配置成在抛光液体离开储藏室之后并且在抛光液体被配给至抛光表面上之前将加热流体传输至抛光液体中以加热抛光液体。
主权项：1.一种化学机械抛光系统，包括：平台，所述平台用于支撑具有抛光表面的抛光垫；蒸汽源，所述蒸汽源包括蒸汽产生器；储藏室，所述储藏室用于保持抛光液体；以及清洁化学物的源；其中所述蒸汽源耦合至所述清洁化学物，并且配置成在所述清洁化学物用于化学机械抛光之前将所述蒸汽传输至所述清洁化学物中以加热所述清洁化学物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 在配给下通过混合的浆料温度控制
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