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申请/专利权人：同济大学
摘要：本发明公开了一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，属于微纳结构技术领域，包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统。本发明采用上述的一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，光束通过光学系统后形成大面积、能量分布均匀的准直平顶光束，可实现占空比均匀性强的高性能光栅制造，满足高精度的纳米光栅加工需求。
主权项：1.一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，其特征在于：包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统；所述激光干涉光刻系统的光路结构如下：激光器发出的光依次通过第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜，被偏振分光棱镜分为透射的P偏振光和反射的S偏振光；透射的P偏振光经过第二半波片被调节至S偏振，再依次经过第二反射镜、第三反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统；反射的S偏振光依次经过第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 同济大学 一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统
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