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申请/专利权人：福建省福联集成电路有限公司
摘要：本申请提供一种立体电感及其制造方法，该方法包括获取待制作电感的绝缘面板，在绝缘面板上沉积涂覆一层介质层并在介质层上沉积涂覆一层第一金属层，得到基板；采用第二金属层、第三金属层、第一光阻和第二光阻在基板上进行涂布处理，构建第一空气桥；位于第一空气桥的上方，采用第三光阻、第四光阻和第四金属层在基板上进行涂布处理，构建第二空气桥，完成立体电感的制造。该方法制造的立体电感，采用第一空气桥和第二空气桥结构减小了立体电感寄生电容，提高了立体电感的品质因数；该立体电感与传统的平面电感相比，相同的匝数下立体电感的面积占比更小，解决现有集成电感的衬底中会形成涡旋电流，导致集成电感的品质因数低的问题。
主权项：1.一种立体电感的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待制作电感的绝缘面板，在所述绝缘面板上沉积涂覆一层介质层并在所述介质层上沉积涂覆一层第一金属层，得到基板；采用第二金属层、第三金属层、第一光阻和第二光阻在所述基板上进行涂布处理，构建第一空气桥；位于所述第一空气桥的上方，采用第三光阻、第四光阻和第四金属层在所述基板上进行涂布处理，构建第二空气桥，完成立体电感的制造。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建省福联集成电路有限公司 一种立体电感及其制造方法
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