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气体电子倍增器复合膜及包含其的气体电子倍增器和检测装置 

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摘要:本发明提供一种气体电子倍增器及包含其的检测装置。该气体电子倍增器包括:一第一电极板,包含多个第一孔洞,且该些第一孔洞的至少之一具有一第一宽度;一第二电极板,与该第一电极板相对设置,其中,该第二电极板包含多个第二孔洞,且该些第二孔洞的至少之一具有一第二宽度;以及一收集电极,该第二电极板设置于该第一电极板与该收集电极之间;其中,该第一宽度大于该第二宽度。

主权项:1.一种气体电子倍增器,其特征在于,包括:一第一电极板,包括一第一上电极、一第一下电极、一第一绝缘层和多个第一孔洞,其中,该第一绝缘层设置于该第一上电极与该第一下电极之间,该些第一孔洞贯穿该第一上电极、该第一下电极和该第一绝缘层,且该些第一孔洞的至少之一具有一第一宽度;一第二电极板,与该第一电极板相对设置,其中,该第二电极板包含多个第二孔洞,且该些第二孔洞的至少之一具有一第二宽度;以及一收集电极,该第二电极板设置于该第一电极板与该收集电极之间;其中,该第一宽度大于该第二宽度;其中,在该收集电极的法线方向上,该第一上电极在该收集电极的投影面积不同于该第一下电极在该收集电极的投影面积。

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权利要求:

百度查询: 群创光电股份有限公司 气体电子倍增器复合膜及包含其的气体电子倍增器和检测装置

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