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一种偏移光学厚度的激光倍频分束镜及其制备方法 

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申请/专利权人:中国航天科工飞航技术研究院(中国航天海鹰机电技术研究院)

摘要:本发明公开了一种偏移光学厚度的激光倍频分束镜,在透明基底上交替镀制具有高、低折射率的两种介质材料,其初始膜系结构由基频波长14光学厚度小于和大于10%的两组规整膜系叠加组成;透明基底的背表面镀制减反射薄膜。本发明提供的制备方法为,首先通过具有高、低折射率的两种介电材料单层膜分别拟合出膜料的折射率、折射率的非均质性以及消光系数;其次选择光学厚度小于和大于基频波长14光学厚度的两组规整膜系的叠加作为倍频分束镜的初始结构;获得符合目标光谱的最优结构;在透明基底上交替镀制以上两种膜料,在基底的背表面镀制减反射薄膜。本发明在倍频高透射光谱区域对厚度失配和非均质性均不敏感,能够满足高功率倍频激光系统的需求。

主权项:1.一种偏移光学厚度的激光倍频分束镜,其特征在于,在透明基底上交替镀制具有高、低折射率的两种介质材料,其初始膜系结构由光学厚度小于和大于基频波长14光学厚度的两组规整膜系叠加组成;透明基底的背表面镀制减反射薄膜,14规整膜系的结构是HLN或L2HL2N,其中H和L分别表示λ04光学厚度的高、低折射率膜层,λ0为参考波长,N为正整数,其取值根据基频的反射率要求而定;对初始膜系的优化方法采用单纯形法或共轭梯度法;在初始膜系的基础上,对于靠近基底和靠近空气的3-6层薄膜厚度,设置相对于其它薄膜两倍的优化权重。

全文数据:

权利要求:

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