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申请/专利权人：深圳市舟鸿半导体科技有限公司
摘要：本实用新型提出了一种内存芯片生产晶圆测试台，包括基座，所述基座顶面的两侧固定连接有支柱，所述基座顶面的中部设置有吸附座，所述吸附座的顶部设置有吸附台，所述支柱的顶部固定连接有安装架，所述安装架的后端设置有Y轴移动组件。本实用新型的优点在于：Y轴移动组件、Y轴移动块、X轴移动组件以及X轴移动块相互配合，为转动架进行X轴、Y轴的水平移动提供条件。在电推杆伸长或收缩时，能够带动安装板以顶部铰链为轴进行转动，进而可以带动观测组件发生转动，使观测角度得以调整，方便工作人员从不同角度对晶圆进行观测。观测组件能够自由的进行水平运动和一定范围的转动，观测方向更加全面，适用性更强。
主权项：1.一种内存芯片生产晶圆测试台，包括基座1；其特征在于，所述基座1顶面的两侧固定连接有支柱2，所述基座1顶面的中部设置有吸附座3，所述吸附座3的顶部设置有吸附台4，所述支柱2的顶部固定连接有安装架5；所述安装架5的后端设置有Y轴移动组件6，所述Y轴移动组件6上活动连接有Y轴移动块7，所述Y轴移动块7的顶部设置有X轴移动组件8，所述X轴移动组件8顶部活动连接有X轴移动块9，所述X轴移动块9上固定连接有转动架10，所述转动架10的一端转动连接有安装板11，所述安装板11与转动架10之间设置有电推杆12，所述电推杆12的两端均通过转动座13分别与安装板11及转动架10转动连接，所述安装板11的正面固定连接有观测组件14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市舟鸿半导体科技有限公司 一种内存芯片生产晶圆测试台
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