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申请/专利权人:无锡松瓷机电有限公司
摘要:本申请公开了一种晶棒划线机,其包括承载装置、检测装置和划线打标装置,其中:承载装置至少被配置为承载待划线的晶棒以及驱动待划线的晶棒旋转,晶棒沿第一方向延伸;检测装置至少包括直径检测装置和视觉检测装置,直径检测装置被配置为对待划线的晶棒的直径实施检测,视觉检测装置被配置为对待划线的晶棒实施拍摄,以对待划线的晶棒的外观进行检测;划线打标装置被配置为根据直径检测装置和视觉检测装置的检测结果,在晶棒的相应位置处划线或打标。上述晶棒划线机能够实现对晶棒的自动化检测和划线、打标,相比人工的操作方式,本申请效率较高,精度也高。
主权项:1.一种晶棒划线机,其特征在于,所述晶棒划线机包括承载装置、检测装置和划线打标装置,其中:所述承载装置至少被配置为承载待划线的晶棒以及驱动所述待划线的晶棒旋转,所述晶棒沿第一方向延伸;所述检测装置至少包括直径检测装置和视觉检测装置,所述直径检测装置被配置为对所述待划线的晶棒的直径实施检测,所述视觉检测装置被配置为对所述待划线的晶棒实施拍摄,以对所述待划线的晶棒的外观进行检测;所述划线打标装置被配置为可移动,以根据所述直径检测装置和视觉检测装置的检测结果,在晶棒的相应位置处划线或打标。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡松瓷机电有限公司 一种晶棒划线机
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