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申请/专利权人：南京信息工程大学
摘要：本发明公开了一种STM‑AFM组合扫描探针显微镜的原位扫描方法，包括使用STM的恒流模式或者AFM的调频调幅模式进行整幅样品的预扫描，扫描完成后，将样品表面数据传递给上位机，此样品表面数据称为样品数据1，上位机根据上传回来的扫描数据判断，通过人工或者人工智能算法分析选取感兴趣的样品候选区域，对筛选出来的样品候选区域进行STM‑AFM融合扫描，将扫描得到的样品数据2和样品数据3传递给上位机，得到样品表面的电子态信息。本发明减少融合扫描所需要的时间，从而加快了整体扫描速度，减少图像漂移；能够减少扫描过程中的撞针现象和样品损坏风险，显著提高了成像的可靠性和质量。
主权项：1.一种STM-AFM组合扫描探针显微镜的原位扫描方法，其特征在于，包括如下步骤：1使用STM的恒流模式或者AFM的调频调幅模式进行整幅样品的预扫描；2扫描完成后，将样品表面数据传递给上位机，此样品表面数据称为样品数据1；3上位机根据上传回来的扫描数据，判断出样品表面哪个位置区域有高度的突变，哪个位置区域较为平坦，系统将这些数据存储并用于下一步扫描的预设值调整；4通过人工或者人工智能算法分析选取感兴趣的样品候选区域；5对筛选出来的样品候选区域进行STM-AFM融合扫描，在融合扫描过程中，每到一个点都进行两次信号采集，第一次在方波信号的上半周期，第二次在方波信号的下半周期，将第一次采集到的信号汇总为一组数据，形成样品数据2，将第二次采集到的信号汇总为另外一组数据，形成样品数据3；6将扫描得到的样品数据2和样品数据3传递给上位机，将数据2中原子力的信息分离掉，并将扫描过程中探针振动带来的隧道电流周期性变化去除掉，就得到了样品表面的电子态信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京信息工程大学 一种STM-AFM组合扫描探针显微镜的原位扫描方法
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