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申请/专利权人：沙朗特股份有限公司
摘要：提供了一种物镜适配器，其包括框架、框架盖、用于插入物镜的开口和压板。容纳探针芯片的操纵器被放置在压板上。探针芯片用于对薄膜材料和半导体进行电学测量、机械测量、光学测量、化学测量和结构测量。物镜适配器安装到显微镜包括第3方显微镜上。
主权项：1.一种物镜适配器，所述物镜适配器包括：至少一个框架；框架盖；用于插入物镜的开口；和至少一个压板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沙朗特股份有限公司 用于测试半导体和薄膜材料的显微镜物镜适配器
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