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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明涉及基于激光剥离异质衬底晶体薄膜制备薄膜晶圆的方法，本发明采用激光剥离的方法，在超短时间内将高能量密度的激光辐照投射在薄膜片注入停止层，使停止层的注入离子快速受热气化，以快速完成薄膜片剥离过程；加热和降温速度快、热聚集性性高；在注入离子气化过程中，上层的薄膜片晶圆和下层的衬底片晶圆均受热较小，基本不会造成由于异质材料热膨胀差异带来的形变影响，规避了异质材料键合高温处理的裂片问题，采用简单高效的方法实现了异质材料键合的薄膜片完整剥离，具有较高的工艺兼容性，可以适用于多种异质材料键合的薄膜结构，易加工，工序简单、时间短、成本低，为晶体薄膜加工提供了新的方法。
主权项：1.基于激光剥离异质衬底晶体薄膜制备薄膜晶圆的方法，包括步骤如下：1提供一衬底片晶圆，清洗后，在衬底片晶圆上制备一层二氧化硅作为隔离层；2提供一薄膜片晶圆，清洗后，采用离子注入的方式将氦离子He+注入薄膜片晶圆中；3将步骤2离子注入的薄膜片晶圆的薄膜层与步骤1衬底片晶圆的二氧化硅层进行键合，得到键合体；4采用激光辐照键合体的铌酸锂面，使用激光扫描键合体时，激光焦点位置聚焦于铌酸锂薄膜片的注入停止层，以实现铌酸锂注入层的剥离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 基于激光剥离异质衬底晶体薄膜制备薄膜晶圆的方法
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