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申请/专利权人：安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司
摘要：本发明公开了一种氟化铽锂晶体用研磨装置，涉及氟化铽锂晶体加工技术领域，包括支撑底座、研磨盘、检测设备、升降驱动件和用于夹持晶体圆片的升降装夹台，所述升降驱动件用于驱动研磨盘升降；还包括伸缩清洁机构和往复联动机构。本发明每当需要通过检测设备检测表层是否研磨达标时，则使得研磨盘升起，研磨盘升起时，其内底部设置的清洁胶条便依靠弹簧回弹力从底部露出，且使得晶体圆片升起接触清洁胶条，如此便可依靠研磨盘带动清洁胶条旋转清洁晶体圆片表层，旋转的清洁胶条依靠斜导面引导接触的研磨粉尘以及研磨液体在离心力作用下甩出，同时设置的气泵产生一定气流辅助清洁，如此便于在每次检测之前进行有效清洁，便于后续进行表层检测。
主权项：1.一种氟化铽锂晶体用研磨装置，包括支撑底座1、研磨盘16、检测设备5、升降驱动件6和用于夹持晶体圆片15的升降装夹台，所述升降驱动件6用于驱动研磨盘16升降；其特征在于，还包括：伸缩清洁机构，所述伸缩清洁机构包括清洁刮件和弹性伸缩件，所述研磨盘16的底部开设有条形收纳槽17，所述清洁刮件配合设置在条形收纳槽17内，所述弹性伸缩件配合设置在研磨盘16上，且弹性伸缩件与清洁刮件配合连接；往复联动机构，所述往复旋转驱动机构设置在升降驱动件6的升降端和研磨盘16之间，往复旋转驱动机构用于带动研磨盘16旋转，且进行横向往复运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 一种氟化铽锂晶体用研磨装置
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