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申请/专利权人：西安交通大学;陕西埃恩束能碳基技术有限公司
摘要：本发明提供一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法，包括带电粒子导入口，以及设置于带电粒子导入口输出侧的带电粒子聚束器，所述带电粒子聚束器的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰，所述带电粒子束导向极法兰外壁设置有一个带电粒子束导向装置；所述带电粒子聚束器与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子聚束器沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场，所述带电粒子束导向装置设置于带电粒子束的运动方向一侧，所述带电粒子束导向装置包括两个磁性相反的磁极，且仅一个所述磁极靠近带电粒子束，本申请能够控制带电粒子束的偏移方向，可以实现针对性的镀膜，进而能够扩大真空电弧带电粒子镀膜的纵向带电粒子束覆盖范围，提升镀膜均匀性。
主权项：1.一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置，其特征在于，包括带电粒子导入口1，以及设置于带电粒子导入口1输出侧的带电粒子聚束器2，所述带电粒子聚束器2的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰6，所述带电粒子束导向极法兰6外壁设置有一个带电粒子束导向装置5；所述带电粒子聚束器2与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子聚束器2沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场，所述带电粒子束导向装置5设置于带电粒子束的运动方向一侧，所述带电粒子束导向装置5包括两个磁性相反的磁极，且仅一个所述磁极靠近带电粒子束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 陕西埃恩束能碳基技术有限公司 一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法
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