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申请/专利权人：陕西埃恩束能碳基技术有限公司
摘要：本发明提供一种两极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法，包括带电粒子导入口，以及依次设置于带电粒子导入口输出侧的带电粒子聚束器和带电粒子束导向装置；所述带电粒子聚束器和带电粒子束导向装置间隔设置于带电粒子束的运动方向，所述带电粒子聚束器的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰，所述带电粒子束导向装置套设于带电粒子束导向极法兰外壁；所述带电粒子束导向装置与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子束导向装置包括两个相对设置且磁性相反的磁极；所述带电粒子聚束器沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场；本申请能够扩大真空电弧带电粒子镀膜的纵向带电粒子束覆盖范围，提升镀膜均匀性。
主权项：1.一种两极磁线圈带电粒子束扫描装置，其特征在于，包括带电粒子导入口1，以及依次设置于带电粒子导入口1输出侧的带电粒子聚束器2和带电粒子束导向装置5；所述带电粒子聚束器2和带电粒子束导向装置5间隔设置于带电粒子束的运动方向，所述带电粒子聚束器2的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰6，所述带电粒子束导向装置5套设于带电粒子束导向极法兰6外壁；所述带电粒子束导向装置5与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子束导向装置5包括两个相对设置且磁性相反的磁极；所述带电粒子聚束器2沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西埃恩束能碳基技术有限公司 一种两极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法
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