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申请/专利权人：深超光电(深圳)有限公司
摘要：本发明公开一种巨量转移装置及其巨量转移方法。巨量转移装置包含承载部、取放部、检测部以及控制部。承载部用以固定第一基板及第二基板至少其中之一。取放部用以经控制从第一基板上取得目标物，或将目标物放置在第二基板上。检测部用以检测第一基板及第二基板至少其中之一和所述取放部的相对位置，产生用于控制所述承载部和所述取放部移动的相对位置信息。控制部耦接所述承载部、所述取放部以及所述检测部，用以根据所述相对位置信息控制所述承载部和所述取放部的运作。当所述取放部将所述目标物放置在所述第二基板上时，所述承载部会经控制对所述第二基板输出能量，以使所述目标物对所述第二基板的附着力大于所述目标物对所述取放部的附着力。
主权项：1.一种巨量转移装置，其特征在于，包含：承载部，用以固定第一基板及第二基板至少其中之一，并且用以调整所述第一基板及所述第二基板至少其中之一的位置；取放部，相对所述承载部设置，用以经控制从所述第一基板上取得目标物，或将所述目标物放置在所述第二基板上；检测部，相对所述承载部和所述取放部设置，用以检测所述第一基板及所述第二基板至少其中之一和所述取放部的相对位置，用于产生用于控制所述承载部和所述取放部移动的相对位置信息；以及控制部，耦接所述承载部、所述取放部以及所述检测部，用以根据所述相对位置信息控制所述承载部和所述取放部的运作，其中，当所述取放部将所述目标物放置在所述第二基板上时，所述承载部会经控制对所述第二基板输出能量，以使所述目标物对所述第二基板的附着力大于所述目标物对所述取放部的附着力。
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