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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明涉及光波导器件集成技术领域，公开了一种多核光纤‑光波导级联结构的阵列式光学麦克风，其由多核光纤扇入扇出器件、光波导扇入扇出模块及与光波导扇入扇出模块键合的硅膜片阵列组成，硅膜片与光波导扇入扇出模块组合成光学麦克风阵列。多核光纤扇入端各芯层通道中心对准光波导扇入扇出模块扇入端芯层通道，光波导扇入扇出模块扇出端每一芯层端面固化一膜片，且光波导扇入扇出模块扇出端每一芯层都正对膜片中心，膜片‑光波导扇入扇出模块扇出端芯层形成谐振腔。通过对每个膜片的半径、厚度进行优化设计，形成具有不同谐振频率的光学麦克风，进而在光波导扇入扇出模块上集成覆盖超声频带范围20‑80kHz的光学麦克风阵列。
主权项：1.一种多核光纤-光波导级联结构的阵列式光学麦克风，其特征在于，由多核光纤、光波导扇入扇出模块及与光波导扇入扇出模块键合的硅膜片阵列组成，硅膜片与光波导扇入扇出模块组合成光学麦克风阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种多核光纤-光波导级联结构的阵列式光学麦克风
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