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申请/专利权人：之江实验室
摘要：本发明提供了一种飞秒激光微纳加工集成控制装置、系统及方法，控制装置由激光源、激光调制光路、工控主机、CCD相机、高精度三轴位移平台和高精度三轴位移平台控制器组成；控制系统由用户交互界面、加工路径生成模块、加工指令生成模块、硬件集成控制模块和飞秒激光微纳加工集成控制装置组成，所述用户交互界面由加工参数设置模块、自定义加工脚本模块、通用加工文件读取模块、加工路径预览模块和加工过程监控模块组成。工控主机控制激光源产生特定参数激光，再经由激光调制光路实现对激光参数的调制，并最终由光路末端物镜完成激光光束聚焦至加工工件上。工控主机中的飞秒激光微纳加工控制软件将根据加工文件生成加工指令，通过硬件集成控制模块，由工控主机实现对加工系统中各硬件设备的协同控制。本发明能实现飞秒激光微纳加工集成控制系统中各个不同硬件的高效协同控制，简化飞秒激光微纳加工流程，提高飞秒激光微纳加工效率和精度。
主权项：1.一种飞秒激光微纳加工集成控制装置，其特征在于，包括：激光源1、激光调制光路2、工控主机3、CCD相机5、高精度三轴位移平台8和高精度三轴位移平台控制器9；所述激光源1通过RJ45网口与工控主机3相连，实现数据通讯和控制；所述激光源1的外部触发接口与高精度位移平台控制器9连接，可以由高精度位移平台控制器9产生5V电平触发信号，实现激光源1快速关闭激光；所述激光源1产生的激光通过激光调制光路2，实现对激光参数的调制；经由所述激光调制光路2调制后的激光通过半反射透镜4进入聚焦物镜6，完成最终聚焦于加工工件7上；所述聚焦物镜6焦点处的图像则通过光路反向入射进半反射透镜4并反射至CCD相机5中；所述CCD相机5通过反射光路实现激光对焦和加工过程的实时监控；所述CCD相机5通过USB接口与工控主机3相连；所述加工工件7放置在高精度三轴位移平台8上，所述高精度三轴位移平台8与高精度三轴位移平台控制器9相连，所述高精度三轴位移平台控制器9通过总线和控制板卡与工控主机3相连，实现对高精度三轴位移平台8的通讯和控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 之江实验室 一种飞秒激光微纳加工集成控制装置、系统及方法
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