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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明的利用检查装置检查基片的检查方法包括：A使载置有基片的载置部件移动到被保持于保持部的探针卡的下方的步骤；B之后，从所述探针卡与所述载置部件之间，利用第一摄像单元对载置于所述载置部件的基片进行拍摄，并且利用第二摄像单元对所述探针卡的探针进行拍摄的步骤；C使所述载置部件移动到水平方向上的基准位置的步骤；D使所述载置部件从所述基准位置上升，利用与所述载置部件一起移动的第三摄像单元对设置于所述保持部的目标进行拍摄的步骤；和E基于所述D步骤中的所述第三摄像单元的拍摄结果，对根据所述B步骤中的所述第一摄像单元和所述第二摄像单元的拍摄结果计算的接触位置进行修正的步骤。
主权项：1.一种利用检查装置检查基片的检查方法，其特征在于，包括：A使载置有基片的载置部件移动到被保持于保持部的探针卡的下方的步骤；B之后，从所述探针卡与所述载置部件之间，利用第一摄像单元对载置于所述载置部件的基片进行拍摄，并且利用第二摄像单元对所述探针卡的探针进行拍摄的步骤；C使所述载置部件移动到水平方向上的基准位置的步骤；D使所述载置部件从所述基准位置上升，利用与所述载置部件一起移动的第三摄像单元，对设置于所述保持部的目标进行拍摄的步骤；和E基于所述D步骤中的所述第三摄像单元的拍摄结果，对根据所述B步骤中的所述第一摄像单元和所述第二摄像单元的拍摄结果计算的接触位置进行修正的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查方法和检查装置
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