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申请/专利权人：日产化学株式会社
摘要：提供即使没有交联剂、交联催化剂，也可以在更低温下形成热固化膜的聚合物树脂材料。一种自交联性聚合物，是包含具有芳香族环的单元结构A、和作为具有连接碳原子的有机基的单元结构B的自交联性聚合物，至少一种单元结构A为i‑NR‑键连接着至少2个芳香族环的单元结构、ii包含以至少1个‑NR‑键作为环构成要素的杂环结构的单元结构、或iii包含具有至少1个‑NR2取代基的芳香族环的单元结构，并且R为氢原子或烷氧基甲基，全部聚合物的R之中的至少一部分为烷氧基甲基，所谓连接碳原子，是与单元结构A中的芳香族环形成了共价键的单元结构B中的碳原子，并且是不构成芳香族环的碳原子。
主权项：1.一种自交联性聚合物，其包含：A具有芳香族环的一种或多种单元结构A；以及B作为有机基的一种或多种单元结构B，所述有机基具有1个以上连接碳原子，所述单元结构A之中的至少一种单元结构A为：i包含至少1个-NR-键连接着至少2个芳香族环的结构的单元结构，ii包含以至少1个-NR-键作为环构成要素的杂环的单元结构，并且在所述杂环不是芳香族杂环的情况下，所述杂环与第一芳香族环形成稠环、并且或者所述杂环被包含第二芳香族环的取代基取代了，或iii包含具有至少1个-NR2取代基的至少1个芳香族环的单元结构，所述R为氢原子或烷氧基甲基，全部聚合物的R之中的至少一部分为烷氧基甲基，所谓连接碳原子，是与单元结构A中的芳香族环形成了共价键的单元结构B中的碳原子，并且是不构成芳香族环的碳原子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日产化学株式会社 自交联性聚合物及抗蚀剂下层膜形成用组合物
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