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申请/专利权人：应用材料股份有限公司
摘要：提供一种离子源。所述离子源可包括：离子室，用于产生包含金属离子物质的离子束；以及电荷源，被耦合成将金属蒸气输送到离子室，电荷源包含电荷混合物。电荷混合物可包括：第一部分，包含元素金属；以及第二部分，包含异质性金属氟化物化合物。
主权项：1.一种离子源，其特征在于，包括：离子室，用于产生包含金属离子物质的离子束；以及电荷源，被耦合成将金属蒸气输送到所述离子室，所述电荷源包含电荷混合物，所述电荷混合物包括：第一部分，包含元素金属；以及第二部分，包含异质性金属氟化物化合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料股份有限公司 基于异质性金属-金属氟化物系统的复合离子源
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